Phát triển ngành công nghiệp vi cơ điện tử TP.HCM
Ngày 23/9, Trung tâm Nghiên cứu triển khai Khu Công nghệ cao TP.HCM (SHTP Labs) đã tổng kết Chương trình phát triển ngành Công nghiệp MEMS (vi cơ điện tử) giai đoạn 2017 - 2020 và lấy ý kiến chuyên gia để xây dựng dự thảo Chương trình phát triển MEMS giai đoạn 2020 - 2025.
Theo SHTP Labs, giai đoạn 2017-2020, ngành công nghiệp MEMS của TP.HCM đã đạt được một số thành quả tích cực. Điển hình là Dự án “Nghiên cứu hoàn thiện công nghệ MEMS trong việc chế tạo linh kiện cảm biến áp suất ứng dụng xây dựng các module đo mực nước”, đã hoàn thiện công nghệ chế tạo cảm biến áp suất, khảo sát và đưa ra lựa chọn thích hợp cho các quy trình công nghệ chế tạo. Dự án chế tạo thành công 100 cảm biến áp suất, ứng dụng vào việc xây dựng hệ thống cảnh báo ngập tại 15 trạm ngập của Thành phố.
Ông Ngô Võ Kế Thành, Giám đốc SHTP Labs cho biết, sản phẩm có giá thành rẻ hơn so với thiết bị mua của nước ngoài. Khi có tình trạng ngập lụt do triều cường hoặc mưa, hệ thống sẽ tự đo mực nước và truyền dữ liệu về máy chủ. Sau khi phân tích dữ liệu nhận được ở các điểm ngập, phần mềm quản lý dữ liệu sẽ đưa ra thông tin cảnh báo ngập và lộ trình di chuyển cho người dân trên thiết bị di động.
SHTP Labs còn triển khai các đề tài Nghiên cứu, thiết kế và chế tạo thiết bị IoT Gateway tích hợp giải pháp bảo mật trên nền tảng IoT ứng dụng thí điểm quan trắc chất lượng không khí tại Khu Công nghệ cao; Dự án “Nghiên cứu mô phỏng, thiết kế và chế tạo thử nghiệm cấu trúc MEMS StrainGauge” hướng tới ứng dụng thử nghiệm trong hệ thống quan trắc sức khỏe cầu đường, đã chế tạo và đóng gói được 20 cảm biến MEMS StrainGauge...
Cho đến thời điểm này, SHTPLabs đã sẵn sàng có thể triển khai các sản phẩm về MEMS và hệ thống cung cấp cho thị trường như: cảm biến áp suất kết hợp hệ thống đo mực nước, cảm biến khí và hệ thống quan trắc không khí. Hình thành một đội ngũ nghiên cứu và triển khai mảng MEMS tại trung tâm 1 cách bài bản bao gồm: 4 Tiến sỹ, 6 Thạc sĩ và 4 kỹ sư về mảng công nghệ MEMS cơ dựa trên dạng pizo và MEMS dạng ISFET.
SHTPLabs còn là trung tâm R&D duy nhất có đầy đủ các thiết bị để hoàn thành 1 quy trình chế tạo linh kiện MEMS (công nghệ lõi). Bao gôm: thiết kế và mô phỏng MEMS, thiết kế MASK, chế tạo MASK, các quy trình đồng bộ từ ăn mòn khô (DRIE), quang khắc, CVD...với quy mô pilot trên wafer 4 hoặc 6 inch.
Cũng trong giai đoạn 2017-2020, SHTPLab đã phối hợp với các đối tác Hà Lan (Công ty FabMax B.V và Trường Đại học Công nghệ Delft – TU Delft); Phòng thí nghiệm GS. Isao Shimoyama, Trường Đại học Tokyo, Nhật Bản; Đại học Griffith – Australia nhằm đào tạo cho các cán bộ khoa học và kỹ sư cho Khu Công nghệ cao, các trường, viện và doanh nghiệp nhà nước tại TP.HCM về quy trình từ chế tạo, đóng gói, kiểm định và thương mại hóa linh kiện MEMS trên giáo trình và chuyển giao công nghệ từ các chuyên gia nước ngoài.
Chương trình đã đào tạo được 73 học viên về công nghệ đóng gói linh kiện MEMS; chuyển giao một số quy trình chế tạo linh kiện MEMS tại phòng sạch; công nghệ polymer MEMS... Cách thức đào tạo dựa trên phương pháp giải mã công nghệ, dựa trên những sản phẩm cụ thể do thế mạnh của các chuyên gia quốc tế mời đến đểgiảng dạy để có thể áp dụng và thương mại hoá với điều kiện Việt Nam.
Gia đoạn 2017-2020, chương trình đã thu hút hơn 11 chuyên gia quốc tế về MEMS đến trung tâm làm việc và hợp tác. Đồng thời đã triển khai được mạng lưới hợp tác MEMS với các đối tác chiến lược trong khu vực châu á thái bình dương như: Úc, Nhật, Hàn Quốc như viện NIMS Nhật Bản. Đề tài “Chế tạo cảm biến khí ứng dụng cho Y sinh và Môi trường trong Thành phố thông minh và Nông nghiệp tại Việt Nam: Hướng đến xây dựng Trung tâm Khoa học Nano Việt Nam” được Hội đồng Anh tài trợ gần 150 ngàn bảng Anh. Ngoài ra, thông qua chương trình MEMS, Chính phủ Úc đã tài trợ 400,000 AUD cho việc triển khai quan trắc ngập tại TP.HCM
Trong thời gian tới, đại diện SHTPLab đề xuất chương trình cần nhanh chóng đưa những kết quả nghiên cứu ứng dụng vào thực tiễn ở các lĩnh vực như cảnh báo thiên tai, y sinh, cầu đường, nông nghiệp... Đồng thời, tiếp tục đầu tư cơ sở vật chất đồng bộ, đào tạo nguồn nhân lực, mở rộng quan hệ hợp tác để tìm kiếm, kết nối với các chuyên gia trong và ngoài nước.
PV
